太陽(yáng)能清潔生產(chǎn)
硅單質(zhì)作為重要的光電材料、半導(dǎo)體材料,其戰(zhàn)略資源的地位日漸明顯,全球需求量不斷增大。在光電、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,需要將單質(zhì)硅體切割成符合要求的硅片,目前多晶硅主要采用多線切割技術(shù),在切割過(guò)程中約50%的硅料混進(jìn)由聚乙二醇(PEG)切削液和碳化硅粉(SiC)磨料組成的切削液中,使得切削液中微粉的組成、粒徑、硬度均不滿足標(biāo)準(zhǔn),造成切削液性能下降,不能重復(fù)利用,因此在切割過(guò)程中需要不斷地排出舊切削液,并不斷地
more